Mikrosystemtechnik <-, -en> SOST f
- Mikrosystemtechnik
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In der Mikrosystemtechnik sind die Möglichkeiten der Halbleiter-Werkstoffe erweitert um mechanische, optische, chemische und/oder biologische Komponenten und Funktionen.
de.wikipedia.org In der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik wird das Verfahren vor allem für die Herstellung von dünnen Schichten eingesetzt, beispielsweise Aluminium oder Titannitrid.
de.wikipedia.org Seit 1998 gibt es den Ausbildungsberuf des Mikrotechnologen mit den Schwerpunkten Halbleitertechnik oder Mikrosystemtechnik.
de.wikipedia.org Mit Fertigungstechniken der Mikrosystemtechnik können auch dreidimensionale Strukturen mit mechanischen Funktionen wie Aktoren, Motoren, Pumpen, Stecker etc. hergestellt werden.
de.wikipedia.org In der Mikrosystemtechnik werden auch höhere Strukturen benötigt.
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