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Stuart Parkin für Verdienste um interdisziplinäre Materialforschung ausgezeichnet
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Stuart Parkin recognized for great service to interdisciplinary materials research
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Stuart Parkin für Verdienste um interdisziplinäre Materialforschung ausgezeichnet
Experimentalphysiker Stuart Parkin vom IBM Forschungszentrum Almaden in San José, Mitglied des Gutenberg Forschungskollegs, erhält Von Hippel Award 2012
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Stuart Parkin recognized for great service to interdisciplinary materials research
Experimental physicist Stuart Parkin of the IBM Almaden Research Center in San Jose, California and member of the Gutenberg Research College received the 2012 Von Hippel Award
www.uni-mainz.de• Schnelles Screening durch den Einsatz von in-situ-Analytik ( QCM und QMS ) • Grundlagenforschung auf Keimwachstum und Film Stufenabdeckung • Scale up von kleinen Proben bis hin zu 300-mm-Wafern • ALD für Single-Wafer-und kompletten Lose / Chargen • Crossflow, Showerhead und Vertikalofen-Prozesskammern
Materialforschung und Entwicklung für:
• High-k-Oxide (HfO2, ZrO2, TiO2, Al2O3, SiO2) • Metalle und Metall-Nitride • Cu BEoL Barriere/ Seed • Hartmasken für Ätzen in Silizium und Oxid mit hohen Aspektverhältnissen • Isolationschicht und Abstandshalter • Geringe Zykluszeit • Testchip für elektrisches Auslesen für MIS / MIM-Einrichtungen in planaren und 3D-Aspektverhältnissstrukturen
www.ipms.fraunhofer.de• Fast screening by employing in-situ analytics ( QCM and QMS ) • Fundamental research on nucleation film growth and step coverage • Scale up to from small samples up to 300 mm wafers • Single wafer and Large Batch ALD • Crossflow, Showerhead and Batch Furnace process chambers
Materials research and development for
• High-k oxides (HfO2, ZrO2, TiO2, Al2O3, SiO2) • Metals and metal nitrides • Cu BEoL barrier/seed • Hardmasks for high aspect ratio etching in silicon and oxide • Liners and spacer • Low cycle-time test chip for electrical read out for MIS / MIM devices in planar and 3D high- aspect ratio structures
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