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Ạtlas <-/...sses, ...se/...lạnten> SOST m

Bịogas SOST nt

I . Aas <-es, -e> SOST nt SOST nt

II . Aas <-es, Äser> SOST nt SOST nt

Esempi monolingue (non verificati dalla Redazione di PONS)

tedesco
Neuerdings werden auch Ätzgase verwendet, die Sauerstoff als Molekülanteil enthalten.
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Setzt man eine gleichmäßige Zufuhr mit dem Ätzgas voraus, sind diese Verfahren isotrop und je nach verwendeten Materialien zum Teil hoch materialselektiv (ähnlich wie beim nasschemischen Ätzen).
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Das Verwenden komplizierter oder enger Gaseinlässe, z. B. sogenannter Showerheads, ist daher zu vermeiden, da diese die Menge des zur Verfügung stehenden plasmaaktivierten Ätzgases in der Reaktorkammer deutlich verringern.
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Im Unterschied zu allen anderen Ätzgasen ist Fluor kein Treibhausgas.
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Beim großtechnischen Plasmaätzen werden dem Ätzreaktor daher Abgasbehandlungsanlagen nachgeschaltet, die überschüssiges Ätzgas zerstören.
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Auch das technisch in großer Menge erzeugte Fluor kann als Ätzgas eingesetzt werden.
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Wichtigstes Kriterium bei der Auswahl des Ätzgases ist seine Fähigkeit, mit dem zu ätzenden Feststoff ein leicht flüchtiges Reaktionsprodukt zu bilden.
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Oft werden Ätzgasen einige Prozent Sauerstoff beigemischt, um die Ätzrate zu steigern.
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Auch hier hängt die emittierte Frequenz von der Natur des Ätzgases ab.
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Welche Spezies in welcher Konzentration auftreten, hängt von der chemischen Natur des Ätzgases ab.
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"Ätzgas" nei dizionari monolingue di tedesco


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